TFX3200
TFX3200——薄膜厚度測量設備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量
l 低持有成本(COO),輸出產能高,具有極高的性價比
l 機械運動性能可靠,穩定性表現卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l 全面支持工廠自動化要求
TFX3200——薄膜厚度測量設備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量
l 低持有成本(COO),輸出產能高,具有極高的性價比
l 機械運動性能可靠,穩定性表現卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l 全面支持工廠自動化要求